Rejserækkevidde
20 mm
Løsning
0,125 μm
Gentagelighed
＜1 μm
Ligehed
＜2μm
Parallelisme
＜5 μm
Pitching
10"(50 μrad）
Yawing
Maksimal hastighed
5 mm/sek
Belastningskapacitet
10 kg
Vægt
1,5 kg
